無塵室空調系統

搭配空調系統,營造最佳生產環境

無塵室空調系統

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無塵室空調系統是指藉由空調來改善內部空氣品質、使室內空間成為一個低污然的環境。而空調系統的運作除了可以控制室內溫度外,也可以過濾室內懸浮微粒、粉塵等空氣裡的雜質,再導入新鮮潔淨空氣,提升室內空氣的純淨度。

同時,也可以依照廠房、生產條件的需求,訂定每立方米的懸浮微粒顆粒數、或用最大顆粒的大小等標準;再依此標準進行無塵室空調系統的規劃與設置。

設置目的

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1.控制空氣中懸浮微粒的數量及顆粒大小。
2.防止微塵粒子產生。
3.控制溫度與濕度。
4.控制室內空間的壓力,保持無塵室之正壓與負壓。
藉由無塵室空調系統控制室內的諸多條件,使生產製程避免受汙然或產品變質等風險。

常見使用環境

無塵室空調系統03

無塵室空調系統被廣泛地應用於:電子業、半導體業、面板廠、晶圓廠、精密機械業、光學元件產業、生物科技業、製藥廠、醫療器材廠、食品廠、檢測中心、醫療中心等對環境特別敏感的行業的場所。

常見形式

無塵室空調系統04

1.中央軸流循環空調式

以軸流風扇維持氣流循環,溫度由回風道之熱交換器控制,其潔淨度容易維持,而個別房間不同的潔淨度以HEPA的數量來控制。此種型式的溫濕度控制是以軸流風扇前的熱交換器來控制,對於大區域的控制容易,但是要改變個別房間的溫濕度並不容易。

無塵室空調系統05

2.空調風管式

內部空調箱以連接在HEPA上之風管送氣,維持氣流循環,而溫度由內部空調箱內之熱交換器控制。其潔淨度容易維持,而個別房間不同的潔淨度以HEPA的數量來控制。此種型式對於個別區域的溫濕度控制容易。

無塵室空調系統06

3.Fan Filter Unit(FFU)空調式

FFU吸氣進潔淨室維持氣流循環,而其溫度由回風道之熱交換器控制。個別房間不同的潔淨度以FFU的數量來控制,由於FFU位置分散,再維修上比較不易。

無塵室空調系統07

4.FFU&Dry Coil(乾盤管) SYSTEM

TEST04

5.Mini-Environment Cross Section

無塵室進出標準流程

案例及施作照片